X射线光电子能谱分析仪（XPS）

型号：美国Thermo ESCALAB 250XI

测试项目：

XPS可以做的项目：常规全谱窄谱测试，俄歇谱，价带谱，深度溅射（刻蚀），MAPPING,角分辨，UPS，原位，变温

XPS测试注意事项

1. 样品含有硫或碘等卤族元素请务必填写或者提前告知，避免污染高真空系统。

2. 样品在超高真空及在X射线、紫外线、电子束或Ar离子束照射下应稳定，不分解、不释放气体。

3. XPS测试的元素范围是Li-Cm, H,He元素不能测试。

4. XPS数据分析可以等到元素的价态及半定量数据。原子百分含量小于5%的元素可能测不出明显信号。含量低于5%的元素请务必注明。

5.无特殊说明，默认是使用单色化AlKa源（Mono AlKa）能量是1486.6eV。

6.元素窄谱测试如有特殊要求请备注，没特殊说明默认测最强峰；若最强峰和其他元素的峰有重叠，默认测次强峰。如果需要增加扫描次数，请提前联系。

同一元素如需测试多个轨道峰，请务必写出，并算作多个元素。

7.使用Al Kα X-ray会出现的重叠谱峰，当有重叠谱峰的时候直接定量的结果不能参考。下方是常见的一些重叠谱峰的情况，解决方法是a.通过分峰拟合（这个是数据分析的内容）后再重新定量，b.测试其他轨道的峰，需要备注相应的轨道，默认是测试最强峰，

常见重叠谱峰有Li1s&Co3p；B1s&P2s；C1s&Ru3d5/2,Ru3d3/2；C1s&K2p；O1s&NaKLL；O1s&Pd3p3/2；O1s&Sb3d5/2；N1s&Mo3p3/2；N1s&GaLMM；Al2p&Pt4f5/2；Si2p&Pt5s；Mo3d5/2&S2s；Ta4f&O2s；Co2p&FeLMM；Mn2p&NiLMM；W4f&Zr4p；Al2p&Cu3p

样品要求：

1. 样品状态：可为粉末、块状、薄膜样品，务必干燥。

2. 粉末样品：20-30mg

3. 块状、薄膜样品：块体/薄膜样品尺寸小于5*5*1mm ，厚度大于3mm不能测试，1mm-3mm可以测，需要单独安排测，测试速度慢一点。标清测试面。