一、X射线荧光光谱仪（XRF）基本原理

X射线荧光光谱仪简称：XRF，适用于简单的元素识别和定量以及更加复杂的分析，X射线荧光光谱分析是确定物质中微量元素的种类和含量的一种方法。

荧光，顾名思义就是在光的照射下发出的光，它是利用一定波长的X射线照射材料，元素处于激发状态，从而激发出光子，形成一种荧光射线，由于不同元素的激发态的能量大小不一样，所以产生的荧光X射线不同，进而根据荧光X射线的波长和强度，得出元素的种类和含量

二、X射线荧光光谱仪（XRF）基本结构

现代X射线荧光光谱分析仪由以下几部分组成;X射线发生器(X射线管、高压电源及稳定稳流装置)、分光检测系统（分析晶体、准直器与检测器)、记数记录系统（脉冲辐射分析器、定标计、计时器、积分器、记录器)。

三、X射线荧光光谱仪（XRF）的应用

应用:

可以进行固体、粉末、薄膜、液体样品及不规则样品的无标样元素的定性定量分析。主要用于金属、无机非金属等材料中化学元素的成分分析，范围从‘Be ~92 U。

三、X射线荧光光谱仪（XRF）   对样品的要求

1. 样品状态：可为粉末、块状、薄膜样品

2. 粉末样品：粉末样品需要至少1 g ，最好3 g以上，样品在测试之前尽量干燥，200目以   下；含碳元素含量超过10%的样品，请先将样品烧成灰，再测试

3. 块状、薄膜样品：块状样品必须有一边大于2.5 cm，标明测试面（表面光滑平整）

四、常见问题及回答：

为什么要求XRF测试粉末样品用量最好达到3 g以上？

因为需要和淀粉一起压片做，如果样品量太少的，需要加很多淀粉容易导致结果不准确。

为什么XRF测试要求薄膜（块体）样品尺寸直接要大于2.5 cm？

因为放置薄膜（块体）样品需要放进测试槽，测试槽的直径是2.5 cm，如果样品太小会固定不了。

XRF测试可以精确到多少？

XRF测试原则上可以精确到ppm级别的，但这个精度是基于标准物质的，常规的 XRF测试只是半定量测试，误差不好判断，仅作为元素含量百分比的参考。